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平台简介

微纳加工平台依托微纳系统与仿生医学中心运行,拥有百级/千级/万级总计400平米+的加工测试净化服务区及100 平米+的洁净间附属设施,其洁净等级已通过ISO国际认证。平台致力于微纳尺度的器件和材料加工及测试,联系人:乔威;0755-86585206;wei.qiao@siat.ac.cn

Parylene沉积系统

品牌型号:Parylene CVD PDS2010

Parylene沉积系统是在常温下采用带有双游离基的活性单体,先将单...

表面轮廓仪

品牌型号:Alpha-step D-100

Alpha-Step D-100是一种先进的探针接触式表面轮廓仪,集高测量精...

磁控溅射镀膜系统

品牌型号:金盛微纳JS4S-75G

本设备可在硅片、塑料、陶瓷、玻璃、右英、III-V族化合物及金属...

感应耦合等离子刻蚀机

品牌型号:ICP-2B

具备反应离子刻蚀(RIE),等离子刻蚀(PE)和电感藕合等离子刻蚀(IC...

纳米印压机

品牌型号:Imprint Nano YPL-NIL-SI400

用于微纳模板的复制和微纳结构的加工,适用于半导体制备、微电子...


  • 运行开放模式:
  • 1、委托加工/测试;
  • 2、客户体验式加工/测试;
  • 3、项目合作开发,提供项目设计方案和技术咨询;
  • 4、微纳器件、半成品、成品定制。


附件1:微纳加工平台收费标准

附件2:超净间仪器列表