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设备编号 设备名称 设备型号 所在部门 地点 平台 共享类型
10004 分子束外延生长和镀膜系统 NULL 光伏太阳能研究中心 C706 微纳加工 内部共享
10047 磁控溅射电子束蒸发系统 NULL 光伏太阳能研究中心 C706 微纳加工 内部共享
10060 多功能离子镀膜机 V-Tech MF610/610 功能薄膜材料研究中心 C320 微纳加工 外部共享
10092 原子层沉积ALD镀膜设备 d/100/32p 光伏太阳能研究中心 C109 微纳加工 外部共享
10130 激光刻蚀机 ONYX-510 光伏太阳能研究中心 C109 微纳加工 外部共享
10160 激光划线机 NULL 光伏太阳能研究中心 龙岗实验室 微纳加工 外部共享
10164 热丝CVD材料生长系统 HF-650 功能薄膜材料研究中心 C211 微纳加工 外部共享
10211 机械划线机 NULL 光伏太阳能研究中心 龙岗实验室 微纳加工 外部共享
10231 电子束蒸发炉 NULL 光伏太阳能研究中心 C706 微纳加工 内部共享
10245 微波等离子MPCVD系统 HMPS-2050C 功能薄膜材料研究中心 C211 微纳加工 外部共享
10338 临界点干燥仪 Autosamdri-815,Series A 微纳加工与仿生医学研究中心 C406 微纳加工 外部共享
10343 化学气相沉积三区管式炉 XST-3-0-18-3C 微纳加工与仿生医学研究中心 C406 微纳加工 外部共享
10363 磁控镀膜系统 TWS-300 神经工程研究中心 C602 微纳加工 外部共享
10368 低压热化学气相沉积系统 NKT-LPCVD75 保罗·C· 劳特伯生物医学成像研究中心 C513 微纳加工 外部共享
10397 CVD石墨烯生长系统 TS-76CVD-10/20/30 光伏太阳能研究中心 C706 微纳加工 内部共享
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