生物与化学分析平台:

生物成像平台:

材料测试平台:

微纳加工平台:

电子测试平台:

超级计算平台:

综合咨询:

在线客服

测试平台

微纳加工平台

您当前所在位置:首页 > 微纳加工平台

平台简介

微纳加工平台依托微纳系统与仿生医学中心运行,拥有百级/千级/万级总计400平米+的加工测试净化服务区及100 平米+的洁净间附属设施,其洁净等级已通过ISO国际认证。平台致力于微纳尺度的器件和材料加工及测试,联系人:乔威;0755-86585206;wei.qiao@siat.ac.cn

紫外光刻机

品牌型号:Mask Aligner EVG 610TB

该光刻机供了良好的基片适应性,可夹持的标准尺寸基片最大直径为...

无掩膜激光直写系统

品牌型号:Microwriter ML II

Microwriter ML II无掩膜激光直写系统是专门为科研实验室设计开...

反应离子刻蚀机

品牌型号:RIE-10NR

RIE全称是Reactive Ion Etching,反应离子刻蚀,一种干法刻蚀工...

感应耦合等离子刻蚀机

品牌型号:ICP-RIE DSE200S

ICP-RIE是感应耦合等离子体刻蚀设备。与普通的RIE在等离子产生的...

磁控溅射镀膜设备

品牌型号:Magnetron sputter TRP450

利用磁场与电场交互作用,使电子在靶材表面附近成螺旋状运动轨迹...

电子束蒸发镀膜设备

品牌型号:Ebeam evaporator EB500

电子束蒸镀(Electron Beam Evaporation)是物理气相沉积的一种...

超临界干燥仪

品牌型号:Toasimis Autosamdri-815B

本超临界干燥仪由美国tousimis厂家研发生产,产品得到了诸如美国...

光学膜厚测量仪

品牌型号:Filmetrics F20-UV

Filmetrics 膜厚测试仪通过分析薄膜的反射光谱来测量薄膜的厚度...


  • 运行开放模式:
  • 1、委托加工/测试;
  • 2、客户体验式加工/测试;
  • 3、项目合作开发,提供项目设计方案和技术咨询;
  • 4、微纳器件、半成品、成品定制。


附件1:微纳加工平台收费标准

附件2:超净间仪器列表