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微纳加工平台

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平台简介

微纳加工平台依托微纳系统与仿生医学中心运行,拥有百级/千级/万级总计400平米+的加工测试净化服务区及100 平米+的洁净间附属设施,其洁净等级已通过ISO国际认证。平台致力于微纳尺度的器件和材料加工及测试,联系人:乔威;0755-86585206;wei.qiao@siat.ac.cn

紫外光刻机

品牌型号:Mask Aligner EVG 610TB

该光刻机供了良好的基片适应性,可夹持的标准尺寸基片最大直径为150mm。提供各种曝光模式,包括真空,软接触,硬接触,近邻等

无掩膜激光直写系统

品牌型号:Microwriter ML II

Microwriter ML II无掩膜激光直写系统是专门为科研实验室设计开发的多功能激光直写光刻系统,不仅具有无掩模板直写系统的灵活性...

反应离子刻蚀机

品牌型号:RIE-10NR

RIE全称是Reactive Ion Etching,反应离子刻蚀,一种干法刻蚀工艺。这种蚀刻的原理是,当在平板电极之间施加高频电压时会产生数...

感应耦合等离子刻蚀机

品牌型号:ICP-RIE DSE200S

ICP-RIE是感应耦合等离子体刻蚀设备。与普通的RIE在等离子产生的原理上有一定区别。它是通过外置在腔体外的RF线圈将能量间接耦合...

磁控溅射镀膜设备

品牌型号:Magnetron sputter TRP450

利用磁场与电场交互作用,使电子在靶材表面附近成螺旋状运动轨迹,从而增大电子撞击氩气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用...

电子束蒸发镀膜设备

品牌型号:Ebeam evaporator EB500

电子束蒸镀(Electron Beam Evaporation)是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同,电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实...

超临界干燥仪

品牌型号:Toasimis Autosamdri-815B

本超临界干燥仪由美国tousimis厂家研发生产,产品得到了诸如美国UCLA、伯克利、哈佛大学、麻省理工等全世界各著名高校和研究院的...

光学膜厚测量仪

品牌型号:Filmetrics F20-UV

Filmetrics 膜厚测试仪通过分析薄膜的反射光谱来测量薄膜的厚度,通过非可见光的测量,可以测量薄至1nm或厚至13mm的薄膜。测量结...


  • 运行开放模式:
  • 1、委托加工/测试;
  • 2、客户体验式加工/测试;
  • 3、项目合作开发,提供项目设计方案和技术咨询;
  • 4、微纳器件、半成品、成品定制。


附件1:微纳加工平台收费标准

附件2:超净间仪器列表