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场发射扫描电子显微镜和能谱仪

高真空成像分辨率:

1.0 nm @ 15 kV (SE)

1.4 nm @ 1 kV (SE),无射束减速

电子束参数范围:

射束着陆能量:50 eV - 30 keV

探针电流:0.6 pA - 200 nA(可持续调节)

最大水平视场宽度:4.0 mm @ 5 mm WD

能谱参数:

探测面积:50mm2

输入计数率>500,000cps

采集计数率>200,000cps

Mn Kα 典型分辨率<125eVC Kα<48eV


功能用途:

用于采集二次电子、背散射电子等信号对各种固体材料进行的微观形貌分析,用于对材料微区成分元素种类与含量分析。