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表面轮廓仪

1.台阶高度:10nm~400um

2.测量长度:小于3cm

功能用途:
Alpha-step D-100提供了一整套完备的二维表面形貌分析方法,适用于各种表面,包括:半导体硅片、MEMS、微电子陶瓷、SIMS、光学表面和平面显示。