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光学膜厚测量仪

1.有五种不同波长选择(波长范围从紫外220nm至近红外1700nm)

2.最大样品薄膜厚度的测量范围是:3nm ~ 25um

3.精度高于0.1nm

功能用途:

1.半导体行业: 光刻胶、氧化物、氮化物; 

2.LCD 行业: 液晶盒间隙厚度、 Polyimides; 

3.光电镀膜应用: 硬化膜、抗反射膜、滤波片。