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Parylene沉积系统


1.沉积压力闭环控制系统:确保涂敷过程中沉积压力的一致性和稳定性,从而保证沉积的均匀性和一致性。

2.独特的沉积室设计:多尺寸可更换的EP级不锈钢沉积腔,坚固可靠,易于清理维护,玻璃观察窗可视化。腔室内部导流管的设计更加均匀的流体分布。

3.SCS parylene原料:采用专利的二次造粒技术,使颗粒状原料在蒸发时受热更均匀,达到了更好的蒸发效率


功能用途:

Parylene沉积系统是在常温下采用带有双游离基的活性单体,先将单体沉落附着在基体上,然后通过各单体的活性键的键合从而在基体上成膜的设备。具有其它涂层难以比拟的性能优势。它能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边,裂缝里和内表面。广泛用于航空航天、磁性材料、印制电路组件和元器件、微电子机械系统(MEMS)、传感器、生物医用电子、集成电路等领域。