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超临界干燥仪

工艺气体: 二氧化碳

工作温度: -30 ~+ 60 

工作压力: 0~2000 psi

样品尺寸:可同时干燥54英寸晶圆

功能用途:

1.微纳材料的干燥,如MEMS器件、传感器、生物传感器器件等干燥 ;

2.生物大分子:细胞、蛋白质等干燥 ;

3.动植物组织:如花粉、昆虫组织 ;

4.化学物理材料:MOF、介孔纳米材料、碳材料、纳米管等