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射频探针台

载物台(卡盘)尺寸:4/6/8英寸可选

载物台(卡盘)XY方向移动

载物台(卡盘)转动Theta0~360

卡盘Z向粗调,控制杆调节

卡盘Z向微调,手动螺旋调节

针座精度: 5um/pitch

漏电流低于300fA

 

功能用途:
应用范围:集成电路芯片修调及测试,包括漏电流测量,脉冲测量,高低温特性分析,电容测量,失效分析,光电分析等